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立式磁控溅射镀膜生产线
在高科技迅猛发展的今天,半导体材料作为信息技术的基石,其制造过程中的每一步都至关重要。其中,镀膜技术作为提升半导体器件性能的关键环节,更是备受瞩目。立式半导体磁控溅射镀膜生产线,作为一种高效、精准的镀膜设备,正逐步成为半导体制造业的主流选择。
金石东方开发的专用设备可应用在半导体基材上面沉积金属层或者化合物层的连续镀膜设备等。主要用于大面积,高洁净度的玻璃等表面磁控溅射高质量、多功能的金属膜、防干扰电磁屏蔽膜(EMI)、反应膜、复合膜、透明导电膜(ITO)、减反射膜(AR)、增反射膜等。