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磁控溅射连续镀膜生产线
金石东方自主开发的连续式磁控溅射镀膜生产线采用水平式多段布局,包括:进片段、离子清洗段、底涂段、镀膜工艺段、保护层镀膜段、出片段。配置我司研发的高效中频磁控溅射阴极系统,可以对工件表面进行均匀稳定地镀膜。