功能性膜层镀膜生产线

一、产品规格

　　1、设备型号：GVM750、GVM1510、GVM1520、支持定制

　　2、镀膜工件：PC，PET，PPS，ABS，PMMA，陶瓷，玻璃等

　　3、工件尺寸：1500*2000mm、支持定制

　　4、镀膜材料：金属、合金、金属化合物

　　5、镀膜方式：磁控溅射镀膜、等离子体清洗、化学气相沉积

　　6、PLC+触摸屏/手动、半自动、全自动一体化

　　7、水平输送方式传动，多段式布局

　　8、镀膜室极限真空度≤1E-4Pa

　　9、真空系统：机械泵+罗茨泵+维持泵+分子泵（或扩散泵）

　　10、按照GB11164真空镀膜机通用技术条件执行

二、产品描述

　　金石东方自主开发的连续式磁控溅射镀膜生产线采用水平式多段布局，包括：进片段、离子清洗段、底涂段、镀膜工艺段、保护层镀膜段、出片段。配置我司研发的高效中频磁控溅射阴极系统，可以对工件表面进行均匀稳定地镀膜。

　　优势：

　　触摸屏+PLC自动控制：操作简便，人性化

　　真空保持：生产时间短，效率高

　　靶材选配：产品升级灵活

　　膜层优势：表面改性，膜层致密、结合力好、温度低

　　应用领域：电子元器件、特种纤维、半导体、陶瓷金属化、零部件、塑胶模具等